无油真空泵有那些种类？

    一、双圆裂片式

    双圆裂片式的多级设计使得气体通路相当复杂，并且每一及都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时，为了达到好的真空度，对各级的间隙有非常严格的要求。当然，这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。

    二、三叶圆裂片式

    三叶圆裂片式设计和上述形式设计的原理相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力—下降。

    三、组合式（罗茨+爪）

    组合式（罗茨+爪）设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率，用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计相同。也有些厂家将其一及改为星型设计，这样可以在旋转一圈中将气体分为五份，就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。

    四、外部压缩型螺杆式

    在外部压缩型螺杆式设计中，使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减小，同时使得气体通路简单。这样，气体在泵体内停留的时间也短。这种设计但在复杂的半导体工艺中表现出的稳定性非常强。

    五、内部压缩型螺杆式

    螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。在很多工艺中，这种内部压缩同多级泵一样，容易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。

    以上就是有关无油真空泵五种形式的介绍，根据其介绍我们可更好的了解设备的使用及相关的性能，也可更加方便使我们进行设备型号的选择。

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