重新审视有无油真空泵系统

站在节能减排的高度审视传统的有油真空泵系统是每个真空业者当今必须正视的问题。传统的无油概念仅仅是为了获得清洁的、无碳氢化物污染的真空环境。今天的“无油”除满足工艺要求的清洁的真空环境外，对外排气还要保护环境，杜绝废油废气的污染与排放。

传统的有油真空系统(2X型旋片式真空泵)，能源利用率普遍较低，其中尤以油增压泵油扩散泵为甚，简直就是“电老虎”，正是在此背景下，分子泵得以大行其道，在φ400 mm以下的区域内大有取代传统扩散泵之势。同为φ250mm的泵，扩散泵功率比分子泵的大五倍，可见能源浪费之大。长此下去，有油真空系统的市场空间势必越走越窄。